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光刻機(jī)

光刻機(jī)

光刻機(jī)是用來(lái)制造芯片的。光刻機(jī)又被叫作掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),在芯片生產(chǎn)中用以光刻工藝,而光刻工藝又是生產(chǎn)流程中最關(guān)鍵的一步,所以光刻機(jī)又是芯片生產(chǎn)中不可缺失的裝置。以我國(guó)現(xiàn)在的實(shí)力當(dāng)然有能力生產(chǎn)光刻機(jī)。不過(guò),目前中國(guó)能夠量產(chǎn)的光刻機(jī)性能最好的是90nm光刻機(jī),和荷蘭ASML公司最先進(jìn)的5nm光刻機(jī)仍具有極大的區(qū)別。

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